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申请/专利权人：江苏创芯海微科技有限公司

摘要：本发明提供一种MEMS红外探测器响应时间测量的装置及方法，该装置包括：辐射光源生成模块，用于产生辐射光源；脉冲激光生成模块，用于根据辐射光源产生功率可调的脉冲激光，并输入到MEMS红外探测器；测量模块，用于测得MEMS红外探测器在脉冲激光不同功率下的第一电压值和第二电压值；响应时间分析处理模块，用于根据第一电压值及第二电压值测量MEMS红外探测器的响应时间。通过实施本发明，克服了传统MEMS红外探测器响应时间测试中斩波器叶片遮挡‑镂空比例不易调节、叶片转动的频率难与探测器匹配、叶片转动耗时长以及采样点时间间隔较大的问题，且激光脉冲信号的测试误差在ns级，实现了对MEMS红外探测器响应时间的准确测试。

主权项：1.一种MEMS红外探测器响应时间测量的装置，其特征在于，包括：辐射光源生成模块，用于产生辐射光源；所述辐射光源生成模块包括：绿光激光器、钛宝石激光器，所述绿光激光器用于向所述钛宝石激光器发射第一出射光；所述钛宝石激光器用于根据所述第一出射光泵浦形成具有预设波长的所述辐射光源；脉冲激光生成模块，用于根据所述辐射光源产生功率可调的脉冲激光，并输入到MEMS红外探测器；所述脉冲激光生成模块包括：声光调制器、信号发生器、RF射频开关、VCO射频信号发生器，所述信号发生器用于产生用以控制所述RF射频开关的时间的方波信号；所述VCO射频信号发生器用于产生初始连续信号；所述RF射频开关用于根据所述方波信号的控制将所述初始连续信号转换为初始脉冲信号；所述声光调制器用于调节所述辐射光源为一级衍射光，并根据所述初始脉冲信号输出所述脉冲激光；所述脉冲激光生成模块还包括：功率放大器，设置于所述RF射频开关及所述声光调制器之间，所述功率放大器用于将所述初始脉冲信号放大生成第一脉冲信号，并将所述第一脉冲信号输出至所述声光调制器；所述声光调制器还用于根据所述辐射光源及第一脉冲信号生成所述脉冲激光；测量模块，用于测得所述MEMS红外探测器在所述脉冲激光不同功率下的第一电压值和第二电压值；响应时间分析处理模块，用于根据所述第一电压值及第二电压值测量所述MEMS红外探测器的响应时间；所述响应时间分析处理模块具体用于：根据所述第一电压值及第二电压值通过标定公式测量所述MEMS红外探测器的响应时间，所述标定公式为如下公式： ，其中，表示第一电压值，表示第二电压值，t表示加入脉冲激光后，输出电压达到第二电压值对应的时刻，为响应时间；所述第一电压值的表达式为如下公式： ，其中，表示未加入脉冲激光时的基础电压值，表示加入脉冲激光后输出响应电压的最大值。

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