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申请/专利权人：悠声股份有限公司
摘要：本发明涉及一种多个MEMS音频转换器1的制造方法，包括如下步骤：制造重构晶片30，晶片29的多个芯片2相互隔开，且用模塑料12包封；将芯片2的至少一个压电元件4，5暴露出来，使得压电元件可以沿升降轴8偏转；将所述重构晶片30与多个对应于所述芯片2的膜片23连接在一起，使得在将所述压电元件4，5暴露出来后，膜片23可以与所述至少一个对应的压电元件4，5共同地沿升降轴8偏转；以及将MEMS音频转换器1单体化，所述MEMS音频转换器包括所述芯片2中的至少一个和所述膜片23中的至少一个。本发明还涉及一种MEMS音频转换器。
主权项：1.一种多个MEMS音频转换器1的制造方法，包括如下步骤：制造重构晶片30，其中晶片29的多个芯片2相互隔开，相互间隔地布置隔开的所述芯片2且用模塑料12浇铸包封，将所述芯片2的至少一个压电元件4，5暴露出来，使得所述压电元件可以沿升降轴8偏转，其中只有在用所述模塑料12浇铸包封所述芯片2后才将所述压电元件4，5暴露出来，将所述重构晶片30与多个对应于所述芯片2的膜片23连接在一起，其中将所述膜片23分别与至少一个对应的压电元件4，5连接在一起，使得在将所述压电元件4，5暴露出来后，所述膜片23可以与所述至少一个对应的压电元件4，5共同地沿升降轴8偏转，以及将所述MEMS音频转换器1单体化，所述MEMS音频转换器分别包括所述芯片2中的至少一个和所述膜片23中的至少一个。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 悠声股份有限公司 多个MEMS音频转换器的制造方法
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