龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种接合系统，具备：在铅垂方向上分离地配置的第一保持部和第二保持部；对位部，其通过使所述第一保持部与所述第二保持部相对地移动来进行被所述第一保持部保持的第一基板与被所述第二保持部保持的第二基板的水平方向对位；按压部，其将被所述第一保持部保持的所述第一基板和被所述第二保持部保持的所述第二基板进行压合；测定部，其测定通过所述按压部被进行了接合的所述第一基板的对准标记与所述第二基板的对准标记的位置偏离；以及对位控制部，其基于在过去的接合中产生的所述位置偏离来控制本次的接合中的所述水平方向对位。
主权项：1.一种接合系统，具备：在铅垂方向上分离地配置的第一保持部和第二保持部，所述第一保持部在与所述第二保持部相向的面具有用于吸附保持第一基板的吸附面，所述第二保持部在与所述第一保持部相向的面具有用于吸附保持第二基板的吸附面；对位部，其通过使所述第一保持部与所述第二保持部相对地移动，来进行被所述第一保持部保持的所述第一基板与被所述第二保持部保持的所述第二基板的水平方向对位；按压部，其将被所述第一保持部保持的所述第一基板和被所述第二保持部保持的所述第二基板进行压合；测定部，其测定通过所述按压部进行了接合的所述第一基板的对准标记与所述第二基板的对准标记的位置偏离；对位控制部，其基于在过去的接合中产生的所述位置偏离来控制本次的接合中的所述水平方向对位；畸变产生部，其使被所述第二保持部保持的所述第二基板产生畸变；以及畸变控制部，其在所述按压部将所述第一基板和所述第二基板进行压合之前，基于在过去的接合中产生的所述位置偏离来控制本次的接合中的所述畸变。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 接合系统和接合方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号