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申请/专利权人：连城凯克斯科技有限公司
摘要：本发明公开了一种直拉式圆硅芯生长炉,包括炉体、提拉旋转装置、多轴提拉盘装置和热屏提升装置，炉体包括主炉室和副炉室，副炉室与主炉室可拆卸连接，提拉旋转装置包括提拉晶升机构、旋转机构，多轴提拉盘装置包括箱体和位于箱体内的齿轮传动机构，提拉晶升机构与箱体连接，旋转机构与齿轮传动机构连接，齿轮传动机构连接多组籽晶，热屏提升装置包括提升驱动装置和与提升驱动装置连接的多孔水冷套，本发明通过提升装置提升多孔水冷套进行上下移动，以及副炉室与主炉室可拆卸连接的结构，实现不停炉清灰功能，有效避免杂质掉落，保证硅液的纯度。
主权项：1.一种直拉式圆硅芯生长炉,其特征在于：包括炉体、提拉旋转装置、多轴提拉盘装置和热屏提升装置，炉体包括主炉室和副炉室，副炉室与主炉室可拆卸连接，提拉旋转装置包括提拉晶升机构、旋转机构，多轴提拉盘装置包括箱体和位于箱体内的齿轮传动机构，提拉晶升机构与箱体连接，旋转机构与齿轮传动机构连接，齿轮传动机构连接多组籽晶，热屏提升装置包括提升驱动装置和与提升驱动装置连接的多孔水冷套。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 连城凯克斯科技有限公司 一种直拉式圆硅芯生长炉
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