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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明涉及改善辊清洁性能的清洁单元和包括清洁单元的基板处理装置。清洁单元包括：整体上呈具有圆形截面的杆状、可旋转地安装于容置清洁液的清洁槽中且至少一部分浸没在清洁液中、外周面附着有从向基板供应处理液的液体供应单元的喷嘴喷洒的处理液的辊；安装于辊的一侧以使一端部接触辊的外周面以清洁辊、从而去除附着在辊的外周面的处理液或清洁液的刀片；沿靠近或远离辊的方向驱动刀片而向刀片施加压力、以调整刀片贴紧辊的贴合力的驱动部；检测辊是否清洁不良的监视部；以及与驱动部和监视部电连接、根据从监视部获得的感测信号来确定辊是否清洁不良、并在确定辊清洁不良时向驱动部施加控制信号以将刀片贴紧辊以增加贴合力的控制部。
主权项：1.一种清洁单元，所述清洁单元包括：辊，所述辊整体上呈具有圆形截面的杆状、可旋转地安装于容置清洁液的清洁槽中且至少一部分浸没在所述清洁液中，所述辊的外周面附着有从向基板供应处理液的液体供应单元的喷嘴喷洒的所述处理液；刀片，所述刀片安装于所述辊的一侧、以使所述刀片的一端部接触所述辊的外周面来清洁所述辊，从而去除附着在所述辊的外周面的所述处理液或所述清洁液；驱动部，所述驱动部沿靠近或远离所述辊的方向驱动所述刀片而向所述刀片施加压力、以调整所述刀片贴紧所述辊的贴合力；监视部，所述监视部检测所述辊是否清洁不良；以及控制部，所述控制部与所述驱动部和所述监视部电连接、根据从所述监视部获得的感测信号来确定所述辊是否清洁不良，并且在确定所述辊清洁不良时，向所述驱动部施加控制信号来将所述刀片贴紧所述辊以增加所述贴合力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 清洁单元和包括该清洁单元的基板处理装置
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