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申请/专利权人：刘克迅
摘要：本实用新型公开一种次微米等级线性光斑编码器装置，其是利用光斑测头结合数个短距测高仪，以检测出直线误差及角度误差，以便及时修正；而光斑平尺则以激光测长干涉仪与反射镜，再搭配光斑的位置记录，可以得到极精确的位置定位，而构成本实用新型的次微米等级线性光斑编码器装置；并不需要光栅的设置，且免除了现有技术后续的补偿加工，特别适合使用在极精密测量及定位的场合，能减少加工时间及减少许多成本。
主权项：1.一种次微米等级线性光斑编码器装置，其特征在于，至少包含有:一具有粗糙平面的光斑平尺，能够供激光照射获取光斑；一光斑测头，设于该光斑平尺的上方，而其内部设置一激光光源，激光光源是以一斜角度射出光线以于该光斑平尺形成光斑，并能够使形成光斑的光线再被反射至另一角度，而该另一角度上设有一镜头及影像传感器组，反射的光线能够被该镜头及影像传感器组所接收，并且该镜头及影像传感器组还连接一具有影像分析功能的计算机用以进行后续处理；四个短距测高仪，分别固定设在光斑测头的四个角落，且每一该短距测高仪能够分别自其端部测得与光斑平尺间的距离，且以该四个短距测高仪的端部以俯视观之是能够构成一个正四方形，其中，光斑测头所射出的光线打在光斑平尺所形成的光斑，恰位于该四个短距测高仪端部所构成的正方形中央；其中，该光斑平尺的移动方向，与该光斑测头里的激光光源、镜头及影像传感器组间连线，二者呈垂直设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 刘克迅 次微米等级线性光斑编码器装置
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