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申请/专利权人：德中(天津)技术发展股份有限公司
摘要：本发明涉及一种焦点处光斑形态可切换的光学系统，其包括激光器、半波片、第一偏振立方体、第二偏振立方体、第一光路系统、第二光路系统、扫描器及聚焦场镜；激光器提供加工用激光光束，加工用激光光束经半波片后入射至第一偏振立方体，第一偏振立方体将一束加工用激光光束分为第一光束、第二光束，第一光路系统为被光束整形器整形后的第一光束，第二光路系统为被光束整形器整形后的第二光束，第一光束、第二光束均经过第二偏振晶体后在同轴同心位置上水平传输，经第三反射镜和第四反射镜均入射到扫描器，并经过聚焦场镜后聚焦加工。本发明光学系统及激光加工方法，可满足同一设备不同形态光斑加工的需求，且满足快速切换的需求。
主权项：1.一种焦点处光斑形态可切换的光学系统，其特征在于：包括激光器1、半波片3、第一偏振晶体4、第一光路系统、第二光路系统、第二偏振晶体7、扫描器14及聚焦场镜15；所述激光器1提供加工用激光光束2，所述加工用激光光束2经第一半波片3后入射至第一偏振晶体4，第一偏振晶体4受半波片3影响，将一束加工用激光光束2切换到第一光路系统或第二光路系统，所述第一光路系统为被光束整形器5整形后的第一光束6，所述第二光路系统为被光束整形器8整形后的第二光束10，所述第一光束6、第二光束10均经过第二偏振晶体7后在同轴同心位置上水平传输，经第三反射镜12和第四反射镜13共同入射到扫描器14，并经过聚焦场镜15后聚焦加工，所述扫描器14用来提供加工扫描，所述聚焦场镜15用来将第一光束6或第二光束10聚焦成焦点光斑16加工，焦点光斑16受半波片3控制，在第一光路6聚焦后形成的第一形态焦点光斑和第二光路10聚焦后形成的第二形态焦点光斑之间切换。
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权利要求：
百度查询： 德中(天津)技术发展股份有限公司 一种焦点处光斑形态可切换的光学系统及其激光加工方法
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