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力觉传感器 

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申请/专利权人:三角力量管理株式会社

摘要:本发明的力觉传感器1的应变体具有:配置于受力体与支撑体之间的倾动结构体;连接受力体与倾动结构体的受力体侧变形体;以及连接倾动结构体与支撑体的支撑体侧变形体。倾动结构体包括沿着与第一方向正交的第二方向延伸并能够在第一方向的力的作用下弹性变形的第一倾动体。

主权项:1.一种力觉传感器,其特征在于,具备:受力体,受到作为检测对象的力或力矩的作用;支撑体,在第一方向上配置于所述受力体的一侧,支撑所述受力体;应变体,连接所述受力体与所述支撑体,并在所述受力体受到的力或力矩的作用下弹性变形;检测元件,检测通过所述应变体中产生的弹性变形而产生的位移;以及检测电路,根据所述检测元件的检测结果,输出表示作用于所述应变体的力或力矩的电信号,所述应变体具有:倾动结构体,配置于所述受力体与所述支撑体之间;受力体侧变形体,连接所述受力体与所述倾动结构体,并能够在所述受力体受到的力或力矩的作用下弹性变形;以及支撑体侧变形体,连接所述倾动结构体与所述支撑体,并能够在所述受力体受到的力或力矩的作用下弹性变形,所述倾动结构体包括第一倾动体,所述第一倾动体配置于包含所述第一方向和与所述第一方向正交的第二方向的平面内,并沿与所述第一方向不同的方向延伸,而且能够在所述第一方向的力的作用下弹性变形,所述受力体和所述第一倾动体通过两个所述受力体侧变形体连接,所述支撑体侧变形体连接所述第一倾动体与所述支撑体,所述检测元件具有:设置于所述受力体或所述支撑体上的固定电极基板;和与所述固定电极基板对置并设置于所述第一倾动体的位移电极基板,所述位移电极基板配置于所述第一倾动体的所述第二方向上的两个端部,所述受力体与所述支撑体通过四个所述应变体连接,四个所述应变体包括第一应变体、第二应变体、第三应变体以及第四应变体,将所述第一方向设为XYZ三维坐标系中的Z轴方向,所述第一应变体相对于所述受力体的中心配置于Y轴方向负侧,所述第二应变体相对于所述受力体的中心配置于X轴方向正侧,所述第三应变体相对于所述受力体的中心配置于Y轴方向正侧,第四应变体相对于所述受力体的中心配置于X轴方向负侧,将所述第一应变体和所述第三应变体的所述第二方向设为X轴方向,将所述第二应变体和所述第四应变体的所述第二方向设为Y轴方向,所述第一应变体的所述第一倾动体及所述第三应变体的所述第一倾动体沿所述X轴方向延伸,所述第二应变体的所述第一倾动体以及所述第四应变体的所述第一倾动体沿所述Y轴方向延伸,各个所述应变体的所述第一倾动体彼此分离。

全文数据:

权利要求:

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