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一种防止单晶硅棒受损的测量装置 

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申请/专利权人:乐山市京运通半导体材料有限公司

摘要:本实用新型提供了一种防止单晶硅棒受损的测量装置,包括主杆、第一平行杆、第二平行杆,所述主杆的左右两端分别与第一平行杆、第二平行杆的后端垂直连接形成用于嵌入单晶硅棒的凹槽,所述第一平行杆、第二平行杆的内侧分别与单晶硅棒的左右两侧面平行对应,所述主杆的内侧与单晶硅棒的端面平行对应,且第一平行杆的内侧与第二平行杆的内侧之间的距离等于单晶硅棒端面的宽度,所述单晶硅棒端面的长度大于或小于单晶硅棒的宽度。

主权项:1.一种防止单晶硅棒受损的测量装置,其特征在于,包括主杆1、第一平行杆2、第二平行杆3,所述主杆1的左右两端分别与第一平行杆2、第二平行杆3的后端垂直连接形成用于嵌入单晶硅棒5的凹槽,所述第一平行杆2、第二平行杆3的内侧分别与单晶硅棒5的左右两侧面平行对应,所述主杆1的内侧与单晶硅棒5的端面平行对应,且第一平行杆2的内侧与第二平行杆3的内侧之间的距离等于单晶硅棒5端面的宽度,所述单晶硅棒5端面的长度大于或小于单晶硅棒5的宽度。

全文数据:

权利要求:

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