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申请/专利权人：一道新能源科技股份有限公司
摘要：本发明实施例提供了一种IBC电池及其制备方法，其中，本发明实施例所提供IBC电池的制备方法，通过先依次在IBC电池的整个背面沉积铝膜、TiW膜及铜膜形成金属堆层，并在金属堆层上形成具有第三开口的镀锡层，该金属堆层同时与发射极和背场结构连接，然后利用镀锡层作为蚀刻屏障，定点刻蚀金属堆层，实现快速、精准地形成指状交叉的接触电极，完成IBC电池金属化，从而解决了现有IBC电池的金属化方式无法高效形成接触电极的问题。
主权项：1.一种IBC电池的制备方法，其特征在于，包括：在硅片背面形成相互间隔的发射极和背场结构后，在发射极和背场结构表面形成介质层；在所述介质层上刻蚀第一开口及第二开口，所述第一开口的投影在所述发射极范围内，所述第二开口的投影在所述背场结构范围内；在刻蚀有所述第一开口及第二开口的硅片整个背面形成金属堆层，所述金属堆层包括依次沉积的铝膜、TiW膜及铜膜；在所述金属堆层上形成具有第三开口的镀锡层，所述第三开口的投影在第一开口及第二开口之间；刻蚀去除所述第三开口处的金属堆层，制得IBC电池。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 一道新能源科技股份有限公司 一种IBC电池及其制备方法
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