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申请/专利权人：江苏实为半导体科技有限公司
摘要：本实用新型揭示了MOCVD用加热组件，包括第一电极脚和第二电极脚，所述第一电极脚设置于第二电极脚的一侧，且所述第一电极脚的高度低于第二电极脚的高度，所述第一电极脚和第二电极脚上安装有内圈加热丝，所述内圈加热丝设置为螺旋型，所述内圈加热丝位于下侧的一端一体成型有第一连接部，所述内圈加热丝位于上侧的一端一体成型有第二连接部，所述第一连接部安装于第一电极脚的上端侧壁上，所述第二连接部安装于第二电极脚的上端侧壁上，所述内圈加热丝的周围设置有多个支撑柱。本实用新型利用螺旋型的内圈加热丝通过热辐射加热内部Spindle并导热到石墨盘中心部分，保证石墨盘的整体的均温性，避免内圈加热丝长时间使用后出现断裂、塌陷的不良现象。
主权项：1.MOCVD用加热组件，包括第一电极脚和第二电极脚，其特征在于，所述第一电极脚设置于第二电极脚的一侧，且所述第一电极脚的高度低于第二电极脚的高度，所述第一电极脚和第二电极脚上安装有内圈加热丝，所述内圈加热丝设置为螺旋型，所述内圈加热丝位于下侧的一端一体成型有第一连接部，所述内圈加热丝位于上侧的一端一体成型有第二连接部，所述第一连接部安装于第一电极脚的上端侧壁上，所述第二连接部安装于第二电极脚的上端侧壁上，所述内圈加热丝的周围设置有多个支撑柱，多个所述支撑柱与内圈加热丝接触的侧壁上开设有多个安装槽，所述内圈加热丝套接于多个所述安装槽内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏实为半导体科技有限公司 MOCVD用加热组件
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