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申请/专利权人：华芯半导体科技有限公司
摘要：一种MOCVDG4专用大盘安装工具，本发明涉及半导体安装技术领域，金属件中部向下一体成型有中空安装柱，中空安装柱设置于凹槽内，中空安装柱中活动插设有控制圆柱，控制圆柱的上端凸边活动设置在金属件的顶部，控制圆柱的下端连接齿柱，齿柱的下端转动安装在圆形底槽中；所述金属托板一和金属托板二呈“L”形结构设置，且对称活动穿插在两个槽口中，金属托板一和金属托板二的内侧壁设置有托板齿，托板齿与齿柱对称啮合设置，可以实现操作过程中水平度的保证、双人操作难度大幅降低、极其容易手动对准、配件不易破损等目标，其所涉及的金属件可采用不锈钢、铝合金等材料，保证所采用的材料耐高温、不易变形，且能够保证其洁净度。
主权项：1.一种MOCVDG4专用大盘安装工具，其特征在于：它包含金属件主体（1）、金属件（2）、控制圆柱（3）、金属托板一（5）、金属托板二（6）和齿柱（16）；金属件主体（1）内部设有凹槽（1-1），凹槽（1-1）的侧壁对称贯穿开设有槽口（1-2），凹槽（1-1）的底壁开设有圆形底槽（1-3）；所述金属件（2）盖设在金属件主体（1）上，且利用安装螺丝（14）固定，金属件（2）中部向下一体成型有中空安装柱（2-1），中空安装柱（2-1）设置于凹槽（1-1）内，中空安装柱（2-1）中活动插设有控制圆柱（3），控制圆柱（3）的上端凸边活动设置在金属件（2）的顶部，控制圆柱（3）的下端连接齿柱（16），齿柱（16）的下端转动安装在圆形底槽（1-3）中；所述金属托板一（5）和金属托板二（6）呈“L”形结构设置，且对称活动穿插在两个槽口（1-2）中，金属托板一（5）和金属托板二（6）的内侧壁设置有托板齿（17），托板齿（17）与齿柱（16）对称啮合设置，金属托板二（6）的外端设有缺口。
全文数据：
权利要求：
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