龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
摘要：本发明涉及一种用于硅片变更片盒的使用工具及其控制方法，所属硅片加工设备技术领域，包括底座，所述的底座前后两端均设有若干对片盒定位卡槽，后端的片盒定位卡槽中间设有推送组件，所述的底座下端设有驱动推送组件前后位移的传送组件。所述的推送组件包括止位块，所述的止位块前端设有推板，所述的推板下端设有与止位块一体化的导向杆，所述的导向杆与推板相活动式限位卡嵌连接固定。具有结构简单紧凑和操作简便的优点。使硅片能够平稳的从现有片盒中转移中所需片盒之中，同时实现一次性完成多盒硅片的片盒变更。能够实现硅片正反面的变换，既提高了人工变更片盒的效率，也提高了硅片交换正反面的速度，降低了过程中带来的污染因素的引入。
主权项：1.一种用于硅片变更片盒的使用工具，其特征在于：包括底座（1），所述的底座（1）前后两端均设有若干对片盒定位卡槽（3），后端的片盒定位卡槽（3）中间设有推送组件（2），所述的底座（1）下端设有驱动推送组件（2）前后位移的传送组件（5）；所述的推送组件（2）包括止位块（6），所述的止位块（6）前端设有推板（7），所述的推板（7）下端设有与止位块（6）一体化的导向杆（8），所述的导向杆（8）与推板（7）相活动式限位卡嵌连接固定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 用于硅片变更片盒的使用工具及其控制方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号