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申请/专利权人：河南雷神光电技术有限公司
摘要：本发明涉及光刻胶涂覆领域，具体为一种光刻胶旋涂仪，包括底座，在底座的底部中心处固定安装有支撑管；在底座的左侧壁上固定安装有抽气机构；在底座中部固定安装有隔板；在支撑管中安装有中空圆管，且中空圆管贯穿隔板向上延伸；在中空圆管中安装有旋涂机构；在旋涂机构后侧安装有旋涂驱动机构；在隔板中围绕中空圆管等间距安装有四组卡扣机构；在隔板的上端面安装有固定机构；在底座右侧安装有滴胶机构。本发明采用真空吸附的方式对待涂胶基片进行固定，避免对基片进行固定时因用力过度而使基片损坏；并且，涂覆完成后空气可进入旋涂管中，从而避免因真空吸附而需工作人员用力抽拉基片才能将基片从吸盘上取下而导致基片损坏，提高装置的实用性。
主权项：1.一种光刻胶旋涂仪，包括底座1，其特征在于，在所述底座1的底部中心处固定安装有支撑管2；在所述底座1的左侧壁上贯穿所述支撑管2固定安装有抽气机构3；在所述底座1的中部固定安装有隔板4；在所述支撑管2中安装有中空圆管5，且所述中空圆管5贯穿所述隔板4向上延伸；在所述中空圆管5中安装有旋涂机构6；在所述旋涂机构6的后侧安装有旋涂驱动机构7；在所述隔板4中围绕所述中空圆管5等间距安装有四组卡扣机构8；在所述隔板4的上端面安装有固定机构9；在所述底座1的右侧安装有滴胶机构10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南雷神光电技术有限公司 一种光刻胶旋涂仪
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