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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请公开了一种调平工装及磁控溅射设备的磁性组件的调平方法，调平工装用于对磁控溅射设备的磁性组件进行水平调节，包括：手持部，所述手持部设置有从顶面贯穿至底面的第一连接孔；支撑部，与所述手持部的外壁连接，并且环绕所述手持部设置，用于在调平时支撑在所述磁控溅射设备的上电极腔的侧壁上，所述支撑部包括用于避让所述上磁性组件的调平件和紧固螺钉的镂空区；升降轴，相对于所述手持部可升降地设置于所述第一连接孔内；至少一个测量板，与所述升降轴的底端连接，并且由所述升降轴向远离所述升降轴的方向水平延伸。本申请的调平工装可以使调平操作简单快速，可以提高生产效率。
主权项：1.一种调平工装，用于对磁控溅射设备的磁性组件进行水平调节，其特征在于，包括：手持部，所述手持部设置有从顶面贯穿至底面的第一连接孔；支撑部，与所述手持部的外壁连接，并且环绕所述手持部设置，用于在调平时支撑在所述磁控溅射设备的上电极腔的侧壁上，所述支撑部包括用于避让所述磁性组件的调平件和紧固螺钉的镂空区；升降轴，相对于所述手持部可升降地设置于所述第一连接孔中；至少一个测量板，与所述升降轴的底端连接，并且由所述升降轴向远离所述升降轴的方向水平延伸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种调平工装及磁控溅射设备的磁性组件的调平方法
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