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申请/专利权人：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
摘要：本申请涉及一种电子级四氯化硅的合成及纯化方法，具体包括以下步骤，催化剂除水，去除铁基碱性树脂催化剂中的水分；催化反应，三氯氢硅作为原料，从装有铁基碱性树脂催化剂的RD塔反应段上部进入，原料在反应段进行催化转化，得到四氯化硅反应产品；初分离，RD塔塔顶采出二氯氢硅，塔釜采出四氯化硅；光催化反应，RD塔塔釜采出后的四氯化硅进入光催化反应器进行光催化反应，去除氯氢硅类杂质；精馏提纯，光催化反应后的四氯化硅进行轻、重组分杂质脱除，得到四氯化硅精品，通过精品罐收集后进行充装得到电子级四氯化硅。本申请制备出的四氯化硅产品纯度高，可以满足集成电路使用。
主权项：1.一种电子级四氯化硅的合成及纯化方法，其特征在于：利用三氯氢硅的催化反应，再经二级精馏对四氯化硅进行深度提纯精制，具体包括以下步骤，步骤1：催化剂除水，将铁基碱性树脂催化剂装填进RD塔后，去除铁基碱性树脂催化剂中的水分；步骤2：催化反应，三氯氢硅作为原料，从装有铁基碱性树脂催化剂的RD塔反应段上部进入，原料在反应段进行催化转化，得到四氯化硅反应产品；步骤3：初分离，RD塔塔顶采出二氯氢硅，塔釜采出四氯化硅；步骤4：光催化反应，RD塔塔釜采出后的四氯化硅进入光催化反应器进行光催化反应，去除氯氢硅类杂质；步骤5：精馏提纯，光催化反应后的四氯化硅进行轻、重组分杂质脱除，得到四氯化硅精品，通过精品罐收集后进行充装得到电子级四氯化硅。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种电子级四氯化硅的合成及纯化方法
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