首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

用于硅片加工的三码合一平台及其控制方法 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

摘要:本发明涉及一种用于硅片加工的三码合一平台及其控制方法,所属硅片加工技术领域,包括SMIF片盒,所述的SMIF片盒下端设有底座,所述的底座上设有显示屏,所述的显示屏与底座间设有支撑杆,所述的支撑杆对显示屏实现支撑和电路信号连通的功能,所述的支撑杆上设有与显示屏、底座相电路连通的读码器Ⅰ,所述的底座上端与SMIF片盒间设有读码器Ⅱ,所述的底座后端设有与显示屏相PLC处理器连通的规格选择按钮。具有操作便捷、省时省力和运行稳定性好的优点。有效发现因SMIFPOD、OepnCassette和底座三部分相互放混从而导致的混片,并且能及时避免有问题的产品流动到后续工序。

主权项:1.一种用于硅片加工的三码合一平台,包括SMIF片盒(4),其特征在于:所述的SMIF片盒(4)下端设有底座(5),所述的底座(5)上设有显示屏(1),所述的显示屏(1)与底座(5)间设有支撑杆(3),所述的支撑杆(3)对显示屏(1)实现支撑和电路信号连通的功能,所述的支撑杆(3)上设有与显示屏(1)、底座(5)相电路连通的读码器Ⅰ(2),所述的底座(5)上端与SMIF片盒(4)间设有读码器Ⅱ(10),所述的底座(5)后端设有与显示屏(1)相PLC处理器连通的规格选择按钮(9)。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司 用于硅片加工的三码合一平台及其控制方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。