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申请/专利权人：河北光兴半导体技术有限公司;北京盛达众安科技有限公司
摘要：本申请提供一种用于铂金通道结构的露点环境组件及铂金通道装置，其中，用于铂金通道结构的露点环境组件，包括：出蒸汽结构，出蒸汽结构包括管路和蒸汽溢出壳体，蒸汽溢出壳体上设置有管路连通孔和蒸汽孔，管路的第一端与蒸汽溢出壳体的管路连通孔相连，蒸汽溢出壳体的蒸汽孔与铂金通道结构相邻设置。本申请的技术方案有效地解决了现有技术中的露点环境组件的制作成本高的问题。
主权项：1.一种用于铂金通道结构的露点环境组件，其特征在于，包括：出蒸汽结构10，所述出蒸汽结构10包括管路11和蒸汽溢出壳体12，所述蒸汽溢出壳体12上设置有管路连通孔和蒸汽孔121，所述管路11的第一端与所述蒸汽溢出壳体12的管路连通孔相连，所述蒸汽溢出壳体12的蒸汽孔121与所述铂金通道结构100相邻设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北光兴半导体技术有限公司 北京盛达众安科技有限公司 用于铂金通道结构的露点环境组件及铂金通道装置
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