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一种干膜型感光性树脂组合物及其制备方法和应用 

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申请/专利权人:上海镭利电子材料有限公司

摘要:本发明涉及图纹面的照相制版工艺技术领域,尤其涉及IPCG03F领域,更具体的,涉及一种干膜型感光性树脂组合物及其制备方法和应用。按重量份计,组分包括:聚酰胺酸酯100份,溶剂100‑200份,起始剂1‑8份,丙烯酸酯单体20‑60份,助剂2‑15份。所述丙烯酸酯单体包括季戊四醇四丙烯酸酯和乙氧化双酚A二丙烯酸酯,所述季戊四醇四丙烯酸酯和乙氧化双酚A二丙烯酸酯的重量比为1:2‑3;所述聚酰胺酸酯与起始剂的质量比为100:5‑10,形成的聚合物薄膜的结构扎实,烘烤前后宽度损失小,整体聚合物较佳,在显影过程中分辨率较高,烘烤前后宽度损失小,整体聚合物较佳。

主权项:1.一种干膜型感光性树脂组合物,其特征在于,按重量份计,组分包括:聚酰胺酸酯100份,溶剂100-200份,起始剂1-8份,丙烯酸酯单体20-60份,助剂2-15份。

全文数据:

权利要求:

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