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申请/专利权人：安徽微芯长江半导体材料有限公司
摘要：本发明公开了一种多腔室碳化硅晶片生产装置，涉及晶片生产技术领域，包括生产筒，生产筒下部设有保温室，生产筒内位于保温室上方依次设有风冷腔与水冷腔，上盖中心部及风冷腔与水冷腔底部壁上设有位于同一直线上的贯穿口，底板位于生产筒两侧固定设有外框架，外框架设有螺纹杆，螺纹杆穿过贯穿口并在底部固定设有籽晶托，水冷腔和风冷腔设有伸缩腔，伸缩腔内设有支撑弹簧，支撑弹簧一端固定在支撑杆上，支撑杆固定设有封挡板。本发明结构简单，在通过升华方式制造碳化硅晶体时，可将生产出的碳化硅晶体进行快速冷却，各腔室之间可进行拆分，在进行高温作业时能够有效防止热量外溢，且冷却时不需要将晶体拆下，增快工作效率及安全性，适合推广。
主权项：1.一种多腔室碳化硅晶片生产装置，包括生产筒（1），其特征在于，所述生产筒（1）下部设有保温室（8），所述生产筒（1）内位于保温室（8）上方依次设有风冷腔（7）与水冷腔（6），所述生产筒（1）顶部可拆卸设有上盖（4），所述上盖（4）中心部及风冷腔（7）与水冷腔（6）底部壁上设有位于同一直线上的贯穿口（5）；生产筒（1）固定在底板（2）上，所述底板（2）位于生产筒（1）两侧固定设有延伸至贯穿口（5）上方的外框架（3），所述外框架（3）位于贯穿口（5）上方处通过驱动机构设有螺纹杆（11），所述螺纹杆（11）穿过贯穿口（5）进入到生产筒（1）内并在底部固定设有籽晶托（14）；所述水冷腔（6）和风冷腔（7）腔内底部的两侧固定设有相对称的伸缩腔（18），所述伸缩腔（18）内设有支撑弹簧（30），所述支撑弹簧（30）一端固定在支撑杆（23）上，所述支撑杆（23）贯穿出伸缩腔（18），所述支撑杆（23）远离伸缩腔（18）一侧固定设有封挡板（19），所述封挡板（19）底部与水冷腔（6）和风冷腔（7）腔内底部壁滑动相连。
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权利要求：
百度查询： 安徽微芯长江半导体材料有限公司 一种多腔室碳化硅晶片生产装置
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