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申请/专利权人：吉林大学
摘要：一种基于MZI结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法，属于平面光波导光调制器及其制备技术领域。从下至上由硅衬底、二氧化硅氧化层、铌酸锂薄膜、电光聚合物加载条波导组成。电光聚合物加载条波导为MZI结构，从左到右沿光输入方向由输入直波导、输入锥形波导、第一弯曲波导和第二弯曲波导、第一调制臂直波导和第二调制臂直波导、第三弯曲波导和第四弯曲波导、输出锥形波导、输出直波导组成；在第一调制臂直波导和第二调制臂直波导外侧和内侧的铌酸锂薄膜之上分别制备有第一接地电极、第二接地电极和信号电极。本发明器件的制作工艺简单，且能有效降低调制器调制效率，减小调制器的功耗同时更有利于其高度集成。
主权项：1.一种基于MZI结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器，其特征在于：从下至上由硅衬底1、在硅衬底1之上制备的二氧化硅氧化层2、在二氧化硅氧化层2之上制备的铌酸锂薄膜3、在铌酸锂薄膜3之上制备的电光聚合物加载条波导4组成，电光聚合物加载条波导4为MZI结构，从左到右沿光输入方向由输入直波导8、输入锥形波导9、结构相同的第一弯曲波导10’和第二弯曲波导10、结构相同且相互平行的第一调制臂直波导11和第二调制臂直波导12、结构相同的第三弯曲波导15’和第四弯曲波导15、输出锥形波导16、输出直波导17组成；在第一调制臂直波导11和第二调制臂直波导12外侧的铌酸锂薄膜3之上分别对称制备有长条形结构的第一接地电极13’和第二接地电极13，在第一调制臂直波导11和第二调制臂直波导12内侧的铌酸锂薄膜3之上制备有矩形结构的信号电极10；第一弯曲波导10’和第三弯曲波导15’关于第一调制臂直波导11对称设置，第二弯曲波导10和第四弯曲波导15关于第二调制臂直波导12对称设置，第一接地电极13’和第二接地电极13关于信号电极10对称设置；输入直波导8、输入锥形波导9、第一弯曲波导10’和第二弯曲波导10构成3-dBY分束器，第三弯曲波导15’和第四弯曲波导15、输出锥形波导16、输出直波导17构成3-dBY合束器。
全文数据：
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百度查询： 吉林大学 一种基于MZI结构电光聚合物加载条波导的铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法
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