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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种对中定位工装、晶圆运转系统以及对中定位方法，对中定位盘具有第一盘体表面和第二盘体表面，对中定位盘开设有贯通第一盘体表面和第二盘体表面的第一定位孔和第二定位孔，第一定位孔位于对中定位盘的盘体中心，对中定位轴沿其轴向包括依次同轴相连的第一轴体段、第二轴体段、第三轴体段和第四轴体段，第一轴体段用于穿设晶圆的中心通孔，第二轴体段和第四轴体段用于穿设第一定位孔和第二定位孔，第二轴体段的直径和第四轴体段的直径大于晶圆的中心通孔直径，第三轴体段的直径大于第一定位孔的直径和第二定位孔的直径。对中定位工装可兼容TM机械手和EFEM机械手，简单轻便，容易拿取，操作方便简洁，可提高机械手调试效率。
主权项：1.一种对中定位工装，其特征在于，所述对中定位工装包括：对中定位盘，所述对中定位盘的两侧盘面分别用于构成相互平行的第一盘体表面和第二盘体表面，所述对中定位盘开设有贯通所述第一盘体表面和所述第二盘体表面的第一定位孔和第二定位孔，所述第一定位孔位于所述对中定位盘的盘体中心，所述第二定位孔偏离所述对中定位盘的盘体中心，其中，所述第一定位孔的中心轴线和所述第二定位孔的中心轴线均垂直于所述第一盘体表面和所述第二盘体表面；对中定位轴，所述对中定位轴包括沿其轴向依次同轴相连的第一轴体段、第二轴体段、第三轴体段和第四轴体段，所述第一轴体段的直径小于所述第二轴体段的直径和所述第四轴体段的直径，所述第二轴体段的直径和所述第四轴体段的直径小于所述第三轴体段的直径，所述第一轴体段用于沿着晶圆的轴向活动穿设于晶圆的中心通孔或用于活动穿设于机械手的中心通孔，所述第二轴体段和所述第四轴体段用于沿着所述第一定位孔或第二定位孔的轴向活动穿设于所述第一定位孔或所述第二定位孔。
全文数据：
权利要求：
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