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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：校准电子处理系统的对准器站的方法。通过传送腔室的第一机械臂从连接传送腔室的处理腔室取回校准物体。校准物体在处理腔室具有目标取向。通过第一机械臂将校准物体放置在连接传送腔室的装载锁定。通过连接装载锁定的工厂接口的第二机械臂从装载锁定取回校准物体。通过第二机械臂将校准物体放置在容纳在工厂接口或连接工厂接口的对准器站。校准物体在对准器站具有第一取向。确定对准器站的第一取向与对准器站的初始目标取向之间的差。对准器站的初始目标取向与处理腔室的目标取向相关联。基于第一取向与初始目标取向的差确定与处理腔室相关的第一特征误差值记录在存储介质中。对准器站使用第一特征误差值对准要放置在处理腔室的物体。
主权项：1.一种校准处理系统的方法，包含以下步骤：通过所述处理系统的一个或多个机械臂将校准物体从所述处理系统的处理腔室传送到所述处理腔室的对准器站，所述校准物体在所述处理腔室中具有第一取向并且在所述对准器站处具有第二取向；基于所述校准物体在所述处理腔室中的所述第一取向与所述校准在所述对准器站处的所述第二取向，确定与所述处理腔室相关联的第一特征误差值；和基于通过所述第一特征误差值调整的所述物体在所述对准器站处的目标取向，通过所述对准器站对准要放置在所述处理腔室中的所述物体，所述第一特征误差值是针对所述处理腔室确定的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 处理系统对准器站的校准
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