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申请/专利权人：常州比太科技有限公司

摘要：本发明提供了一种电池片加工系统的抽气装置，所述抽气装置包括第一抽气装置，所述第一抽气装置设置于所述开口处，且与所述上部壁连接；所述第一抽气装置内设有第一抽气通道，所述第一抽气通道的两端分别朝向所述腔室壁两侧的所述工艺腔室。第一工艺腔室内设有第一隔气层板，所述第一隔气层板的一端设于所述第一抽气装置的底部，另一端与所述第一工艺腔室顶部的出气装置连接，从而将所述第一工艺腔室分隔为上腔室和下腔室。第二工艺腔室内设有导流板，所述导流板与所述第一抽气装置的底部连接，所述第二工艺腔室内的气体沿所述导流板进入所述第一抽气装置内的所述第一抽气通道；所述第一工艺腔室的所述下腔室内的气体经所述开口进入所述第二工艺腔室内，接着沿所述导流板进入所述第一抽气装置内的所述第一抽气通道；所述第一工艺腔室内的所述上腔室内设有第二抽气装置，从而所述第一抽气通道内的气体、经所述第一工艺腔室的所述上腔室进入所述第二抽气装置并被所述第二抽气装置排出。

主权项：1.一种电池片加工系统的抽气装置，其特征在于，所述电池片加工系统的两所述工艺腔室之间通过腔室壁隔开，所述腔室壁设有开口，所述开口形成用于电池片载板通过的通道；所述开口将所述腔室壁分割为上部壁和下部壁；所述抽气装置包括第一抽气装置，所述第一抽气装置设置于所述开口处，且与所述上部壁连接；所述第一抽气装置内设有第一抽气通道，所述第一抽气通道的两端分别朝向所述腔室壁两侧的所述工艺腔室；所述腔室壁两侧的所述工艺腔室分别为第一工艺腔室和第二工艺腔室，所述第一工艺腔室内设有第一隔气层板，所述第二工艺腔室内设有导流板；所述第一隔气层板的一端设于所述第一抽气装置的底部，另一端与所述第一工艺腔室顶部的出气装置连接，从而将所述第一工艺腔室分隔为上腔室和下腔室；所述导流板与所述第一抽气装置的底部连接，所述第二工艺腔室内的气体沿所述导流板进入所述第一抽气装置内的所述第一抽气通道；所述第一工艺腔室的所述下腔室内的气体经所述开口进入所述第二工艺腔室内，接着沿所述导流板进入所述第一抽气装置内的所述第一抽气通道；所述第一工艺腔室内的所述上腔室内设有第二抽气装置，从而所述第一抽气通道内的气体、经所述第一工艺腔室的所述上腔室进入所述第二抽气装置并被所述第二抽气装置排出。

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