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申请/专利权人：3M创新有限公司
摘要：本发明描述了一种抛光垫，该抛光垫包括抛光层，该抛光层具有厚度并且包含聚合物，该抛光层具有工作表面和与该工作表面相反的第二表面。特别地，本发明描述了抛光垫，其中该工作表面包括窗口、多个精确成型的孔、多个精确成型的凸体和下陷区域。该窗口具有与该抛光层的该厚度不同的厚度并且包含氟化聚合物。该窗口对于介于200nm和800nm之间的任何波长的光都具有至少20％透射率。
主权项：1.一种抛光垫，所述抛光垫包括：抛光层，所述抛光层具有厚度并且包含聚合物，所述抛光层具有工作表面和与所述工作表面相反的第二表面；其中所述工作表面包括窗口、多个精确成型的孔、多个精确成型的凸体和下陷区域；其中所述窗口具有与所述抛光层的所述厚度不同的厚度并且包含氟化聚合物；其中所述窗口对于介于200nm至800nm之间的任何波长光都具有至少20％透射率；其中每个孔具有孔开口，每个凸体具有凸体基部，并且多个所述凸体基部是相对于至少一个相邻的孔开口基本上共面的；其中所述多个精确成型的孔的深度小于与每个精确成型的孔相邻的所述下陷区域的厚度；并且其中所述抛光层的所述厚度为所述窗口的所述厚度的至少三倍。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 3M创新有限公司 包括氟化聚合物窗口的微复制型抛光垫
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