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申请/专利权人：国仪量子技术(合肥)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种窗口薄膜测试系统，系统包括:样品台设置于待测窗口薄膜远离透光窗口的一侧；样品台向待测窗口薄膜远离透光窗口的表面发射预设波段的光；气压调节监测装置用于调节待测窗口薄膜两侧的气压差；窗口薄膜成像装置用于通过透光窗口向待测窗口薄膜的待测区域发射预设波段的光，通过透光窗口获取待测窗口薄膜待测区域表面设置有液滴时的干涉条纹图像，并根据干涉条纹图像确定待测区域的形变量，本发明通过测量图像中干涉条纹的半径确定待测区域的形变量，后续采用窗口薄膜进行实验等工作时，可以直接根据需要的形变量确定待测窗口薄膜在工作状态下时的所需要的气压，提供工作效率，并且防止待测窗口薄膜在实际工作状态下发生破裂。
主权项：1.一种窗口薄膜测试系统，其特征在于，包括：窗口薄膜成像装置、气压调节监测装置、薄膜固定装置和样品台；所述薄膜固定装置用于固定待测窗口薄膜，且所述待测窗口薄膜与所述薄膜固定装置之间形成密封腔；所述薄膜固定装置具有透光窗口，所述透光窗口与所述待测窗口薄膜相对设置；所述样品台设置于所述待测窗口薄膜远离所述透光窗口的一侧；所述样品台用于向所述待测窗口薄膜远离所述透光窗口的表面发射预设波段的光；所述气压调节监测装置用于调节所述待测窗口薄膜两侧的气压差，使所述待测窗口薄膜的待测区域发生形变；所述窗口薄膜成像装置用于通过所述透光窗口向所述待测窗口薄膜的待测区域发射预设波段的光，通过所述透光窗口获取所述待测窗口薄膜待测区域表面设置有液滴时的干涉条纹图像，并根据所述干涉条纹图像确定所述待测区域的形变量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司 一种窗口薄膜测试系统
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