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申请/专利权人：元平台技术有限公司
摘要：一种形成可变折射率薄膜的方法，该方法包括形成包括锡II卤化物前体和液体溶剂的涂层，其中液体溶剂的组成和或浓度可以在涂层的一个或多个横向尺寸上在空间地变化。在升高的温度下退火可以诱导涂层致密化并形成具有可变折射率的薄膜。折射率的局部变化可以与锡在薄膜内的位置氧化态有关，这可以与液体溶剂的构造有关。
主权项：1.一种方法，所述方法包括：形成包括第一锡II卤化物前体和第一液体溶剂的第一溶液；形成包括第二锡II卤化物前体和第二液体溶剂的第二溶液；在基板的沉积表面的相应区域上方沉积所述第一溶液和所述第二溶液以形成涂层；以及对所述涂层进行退火以形成具有可变折射率的薄膜。
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