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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，它涉及一种磁悬浮运动台，本发明为解决传统的磁悬浮运动台结构复杂、负载大且成本高的问题，它包括宏动台单元和微动台单元，所述宏动台框架的中部设有矩形槽，矩形槽的四周分别设有四个安装槽，每个安装槽内设有一个水冷中空板，每个水冷中空板的下表面连接有一个绕组线圈，所述宏动台晶圆支撑架与宏动台框架连接，用于承载晶圆；所述微动台单元位于所述矩形槽内。本发明提出一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，可以减轻宏动台的负载，减少设计复杂度，降低系统复杂度，缩小系统体积，节约成本，对超精密加工领域，尤其是光刻机领域有着重要意义。本发明属于磁悬浮技术领域。
主权项：1.一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，其特征在于：所述一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，它包括宏动台单元1和微动台单元2，所述宏动台单元1包括宏动台框架1-1、绕组线圈、水冷中空板1-3和宏动台晶圆支撑架，所述宏动台框架1-1的中部设有矩形槽1-1-1，矩形槽的四周分别设有四个安装槽1-1-2，每个安装槽1-1-2内设有一个水冷中空板1-3，每个水冷中空板1-3的下表面连接有一个绕组线圈，所述宏动台晶圆支撑架与宏动台框架1-1的上表面1-1连接，用于承载晶圆；所述微动台单元2位于所述矩形槽1-1-1内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 一种宏动微动结合的磁悬浮运动台
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