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测试布线电路的设备和方法 

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申请/专利权人:三星电子株式会社

摘要:提供了用于测试布线电路的设备和方法。所述设备包括:电路基底,具有在电路基底中的布线和在电路基底的上表面上并连接到布线的垫;电极,位于电路基底的下表面下方;光学传感器,位于电路基底的上表面上方,并且被构造成检测从电路基底的上表面发射的信号;以及光学单元,位于光学传感器上方并且被构造成照射光,其中,光学传感器包括:光学基底,其光学特性通过从电路基底的上表面发射的信号而改变;以及图案化反射层,位于光学基底的面对电路基底的表面上,图案化反射层具有反射入射在光学基底上的光的第一区域和透射入射在光学基底上的光的第二区域。

主权项:1.一种用于测试布线电路的设备,布线电路为电路基底中的布线电路,所述电路基底具有形成在电路基底中的布线和形成在电路基底的上表面上并连接到布线的垫,所述设备包括:电极,被构造成在测试布线电路时位于电路基底的下表面下方;光学传感器,被构造成在测试布线电路时位于电路基底的上表面上方,并且被构造成检测从电路基底的上表面发射的信号;以及光学单元,位于光学传感器上方并被构造成照射光,其中,光学传感器包括:光学基底,光学基底的光学特性通过从电路基底的上表面发射的信号而改变;以及图案化反射层,被构造成在测试布线电路时位于光学基底的面对电路基底的表面上,图案化反射层具有用于反射入射在光学基底上的光的第一区域和用于透射入射在光学基底上的光的第二区域,其中,图案化反射层具有由第一区域和第二区域形成的条纹图案,或者其中,图案化反射层具有由第一区域和第二区域形成的网格图案。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三星电子株式会社 测试布线电路的设备和方法

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