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申请/专利权人：无锡中环应用材料有限公司
摘要：本发明提供一种粘棒固化机构，用于使晶棒与料板对中粘接固定，其特征在于，至少包括：对粘接于一体的所述料板和料座的首尾宽度相对位置进行监控的检测装置；以及对粘接在所述料板上的所述晶棒相对于所述料板进行首尾宽度位置补偿调整的整形装置；所述整形装置还可对调整后的所述晶棒和所述料板进行第二次压胶、固化。本发明还提出一种采用该固化机构的固化方法。本发明可使晶棒与料板快速且精确地对中粘接，并先后对晶棒和料板进行两次压胶及固化，以使晶棒和料板完全固化粘接，提高其粘接强度；各结构衔接精准，稼动率高。
主权项：1.一种粘棒固化机构，用于使晶棒与料板对中粘接固定，其特征在于，至少包括：对粘接于一体的所述料板和料座的首尾宽度相对位置进行监控的检测装置；以及对粘接在所述料板上的所述晶棒相对于所述料板进行首尾宽度位置补偿调整的整形装置；所述整形装置还可对调整后的所述晶棒和所述料板进行第二次压胶、固化；所述检测装置包括：置于所述料板长度方向一侧的若干测程部件；所述测程部件均朝所述料板方向一侧设置，并可沿所述料板宽度方向往复移动；所述测程部件分别对所述料座和所述料板靠近各自的首端、尾端位置进行测试；所述整形装置包括：架体；用于调整所述晶棒首尾位置的定位部件；以及用于侧推所述晶棒并使所述晶棒与所述料板对中设置的侧推部件；其中，所述晶棒和放置台均沿所述架体长度方向设置；所述定位部件被设于所述架体远离所述检测装置一侧，所述侧推部件被设于所述架体靠近所述检测装置一侧；沿所述晶棒长度方向，所述定位部件被设置的位置与所述检测装置对所述晶棒检测的位置相对应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡中环应用材料有限公司 一种粘棒固化机构及固化方法
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