买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：浙江光特科技有限公司

摘要：本发明公开了一种光刻胶供给设备，包括：一支架；一支撑件，呈锥形设置，设置于所述支架上；其上部内径大于下部内径；一压板，位于所述支撑件的上方，与所述支架可移动连接；一调节机构，用于调节所述压板与所述支撑件之间的间距；一箱体，布置于所述支撑件内，所述箱体上的开口向下布置；一柱塞，安装在所述箱体的开口中；一供气机构；一进气管，其第一端与所述供气机构连接，其第二端穿过所述柱塞位于所述箱体内，并靠近所述箱体的底部。可以在支架上设置滑槽，可以在压板上设置滑块，滑块与滑槽滑动配合。调节机构可以为螺杆，与所述支架螺纹连接，并与所述压板转动连接，通过转动螺杆带动压板下降，压持住箱体的底部，将箱体固定。

主权项：1.一种光刻胶供给设备，其特征在于，包括：一支架；一支撑件，呈锥形设置，设置于所述支架上；其上部内径大于下部内径；一压板，位于所述支撑件的上方，与所述支架可移动连接；一调节机构，用于调节所述压板与所述支撑件之间的间距；一箱体，布置于所述支撑件内，所述箱体上的开口向下布置；一柱塞，安装在所述箱体的开口中；一供气机构；一进气管，其第一端与所述供气机构连接，其第二端穿过所述柱塞位于所述箱体内，并靠近所述箱体的底部；一排液管，其第一端位于外侧，其第二端穿过所述柱塞位于所述箱体内;一移动杆，位于所述进气管的第二端；一密封塞，与所述移动杆连接，用于密封所述进气管的第二端；一弹性件，一端与所述密封塞连接，另一端与所述进气管连接;第一阀门，安装在所述排液管上；排污管，与所述排液管连通，布置于所述第一阀门和所述柱塞之间；第二阀门，安装在所述排污管上;在供气机构通入气体进入进气管中时，气体推动密封塞、移动杆向外移动;当不需要排出光刻胶时，停止通入气体;随着气压减小，利用弹性件的弹力再次将密封塞紧压进气管的第二端,避免光刻胶进入;设置移动杆，让移动杆在进气管上、下移动，能够保证让密封塞再次密封进气管的第二端;在正常排出光刻胶时，打开第一阀门，让光刻胶经过排液管排出；随着箱体内的光刻胶不断减少，让排液管逐渐向下；当箱体内残留少部分光刻胶时，光刻胶内具有部分杂质；关闭第一阀门，打开第二阀门，将光刻胶从排污管中排出，方便集中处理。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江光特科技有限公司 一种光刻胶供给设备