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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明公开了一种基于等离子体的防串扰阵列化电流体喷印装置及方法，属于喷墨打印技术领域。喷印装置包括阵列化喷印头和阵列化等离子体模块。阵列化喷印头由多个供墨喷嘴组成喷头组，供墨喷嘴上端与供墨单元连接；阵列化等离子体模块产生等离子体并形成等离子体气态环形电极；待打印的基板接地，并与等离子体气态环形电极之间形成电场，电场引导供墨喷嘴发生泰勒锥喷射，使高分辨率的墨液沉积在基板上。由等离子体构成的气态环形电极可由等离子体的放电气体或电压分别控制，阵列化的气态环形电极之间不会发生串扰，电喷印喷嘴可独立控制；能够在大面积显示面板像素阵列、传感器阵列等的高精度、高分辨率、高效率制造方面提供新的技术支撑。
主权项：1.一种基于等离子体的防串扰阵列化电流体喷印装置，其特征在于，包括：阵列化喷印头和阵列化等离子体模块；所述阵列化喷印头包括多个供墨喷嘴，各所述供墨喷嘴上端与供墨单元连接，墨液由所述供墨单元流出充满所述供墨喷嘴；所述阵列化等离子体模块包括供气单元、高压电源和多个等离子体单元，每个等离子体单元包括等离子体发生装置和等离子体输送软管；所述供气单元通过流量计与各等离子体发生装置连接，以单独控制每个等离子体单元中工作气体的输送；所述高压电源通过电气开关与各等离子体发生装置中的电极针连接，以单独控制每个等离子体发生装置产生等离子体；所述等离子体输送软管一端连接所述等离子体发生装置，另一端围绕所述供墨喷嘴下端一周以形成等离子体气态环形电极；其中，所述等离子体气态环形电极用于与接地的待打印基板间形成电场，以使所述墨液弯液面表面的电场强度突破泰勒极限时，所述墨液发生泰勒锥喷射并沉积到所述待打印基板上的指定位置。
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