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申请/专利权人：博海新能源(合肥)有限公司

摘要：本发明涉及扩散炉技术领域，具体为一种太阳电池制造用硼扩散炉，包括内置加热器的扩散炉主体，扩散炉主体的前侧设置有放置物料的炉口，扩散炉主体前侧炉口处铰接有炉门，其特征在于：所述扩散炉主体的两侧固定有进气管一，且进气管一为两个进气端，分别固定在扩散炉主体的侧面上下两端，所述扩散炉主体的侧面中部固定有进气管二，且扩散炉主体的内部与进气管二对应位置与进气管二固定连通有气体喷头；所述扩散炉主体的内部设置有固定机构。本申请通过设计气体混合组件配合进气管二驱动携带硅片的固定机构实现硅片的旋转时气体扩散，保证硅片气体扩散的均匀度，同时保证气体混合效果，进一步提高后续硅片气体扩散质量。

主权项：1.一种太阳电池制造用硼扩散炉，包括内置加热器的扩散炉主体（1），扩散炉主体（1）的前侧设置有放置物料的炉口，扩散炉主体（1）前侧炉口处铰接有炉门（11），其特征在于：所述扩散炉主体（1）的两侧固定有进气管一（12），且进气管一（12）为两个进气端，分别固定在扩散炉主体（1）的侧面上下两端，所述扩散炉主体（1）的侧面中部固定有进气管二（13），且扩散炉主体（1）的内部与进气管二（13）对应位置与进气管二（13）固定连通有气体喷头（14）；所述扩散炉主体（1）的内部设置有固定机构（3），且固定机构（3）内环形等距离固定有硅片；所述扩散炉主体（1）的内部与固定机构（3）上、下两端对应位置设置有气体混合组件（2）；所述气体混合组件（2）包括开设于扩散炉主体（1）内与旋转轴（32）上下两端对应位置处的混合腔（21），所述进气管一（12）的两个进气端与气体的混合腔（21）连通，且两个进气端开设角度与气体的混合腔（21）相对倾斜设计；所述气体的混合腔（21）内转动连接有转动轴（22），且转动轴（22）的顶部与气体的混合腔（21）之间不接触，所述转动轴（22）的底部贯穿气体的混合腔（21）延伸至扩散炉主体（1）内部，所述转动轴（22）与气体的混合腔（21）之间套接有密封轴承（23），位于所述气体的混合腔（21）内的转动轴（22）外部环形等距离固定连接有扇叶（29）；所述转动轴（22）的底部固定有插接筒（24），且插接筒（24）内活动连接有固定板（25），所述固定板（25）与插接筒（24）之间固定有弹簧（26），所述旋转轴（32）两端固定有与插接筒（24）匹配的插接头（31），所述插接筒（24）内部固定有插接管（27），且弹簧（26）套接在插接管（27）外部，所述固定板（25）下端面开设有与插接管（27）匹配的孔槽（28），所述转动轴（22）内开设有与插接管（27）连通的气道二，气道二开口位于转动轴（22）顶部；利用气体混合组件（2）配合进气管二（13）驱动固定机构（3）携带硅片旋转式气体扩散，保证硅片气体扩散均匀度。

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