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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种化学机械抛光系统包括：工作台，用于支撑具有抛光表面的抛光垫；以及垫冷却组件。垫冷却组件具有：在工作台上延伸的臂；由臂悬挂并耦合至冷却剂流体源的喷嘴，所述喷嘴定位成将冷却剂流体从源喷射到抛光垫的抛光表面上；以及在臂中的与喷嘴相邻的开口，以及在臂中的从开口延伸的通道，开口定位成足够靠近喷嘴，使得来自喷嘴的冷却剂流体流从开口夹带空气。
主权项：1.一种化学机械抛光系统，包括：工作台，所述工作台用于支撑具有抛光表面的抛光垫；垫冷却组件，所述垫冷却组件包括支撑臂，所述支撑臂在所述工作台之上延伸，其中所述支撑臂包括支撑板，所述支撑板具有贯穿其中的孔，喷嘴，所述喷嘴由所述支撑臂悬挂并耦合至冷却剂流体源，所述喷嘴定位成将所述冷却剂流体从所述源喷射到所述抛光垫的所述抛光表面上，其中所述喷嘴定向为通过所述孔喷射冷却剂流体，以及在所述支撑臂中的与所述喷嘴相邻的开口，以及在所述支撑臂中的从所述开口延伸的通道，所述开口定位成足够靠近所述喷嘴，使得来自所述喷嘴的冷却剂流体流从所述开口夹带空气；以及从所述孔的至少一个侧壁横向延伸穿过所述支撑板的通道，其中所述开口由所述从所述孔的至少一个侧壁横向延伸穿过所述支撑板的通道提供。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于化学机械抛光中温度控制的流体喷流期间的气体输送
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