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申请/专利权人：三菱瓦斯化学株式会社
摘要：一种含碘的甲基丙烯酸酯化合物，其用式1表示。式1中，R1表示氢原子、甲基或卤素，R2各自独立地表示氢原子、碳数1～20的直链状的有机基团、碳数3～20的支链状的有机基团、或碳数3～20的环状的有机基团，A表示碳数1～30的有机基团，A包含至少1个酰基，n1表示0或1，n2表示1～20的整数。
主权项：1.一种含碘的甲基丙烯酸酯化合物，其用式1表示， 式1中，R1表示氢原子、甲基或卤素，R2表示氢原子，A表示碳数1～30的有机基团，A为包含至少1个乙酰氧基的金刚烷或苯，n1表示0或1，n2表示1～20的整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三菱瓦斯化学株式会社 化合物、(共)聚合物、组合物、抗蚀图案形成方法、以及化合物和(共)聚合物的制造方法
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