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申请/专利权人：上海润理真空技术有限公司
摘要：本申请涉及一种液态氙气均分设备，其包括底座以及设置在所述底座上的进液管道，所述底座上开设有储液腔，所述储液腔侧壁贯穿开设有多个等高的第一出液孔，其特征在于：所述储液腔内安装有内壳体，所述内壳体上开设有引流腔，所述进液管道一端伸入所述引流腔内，所述内壳体上设置有引流管，所述引流管一端与所述引流腔连通，另一端与所述储液腔连通，所述引流管和所述储液腔侧壁之间存在导流间隙，所述第一出液孔开口处位于所述引流管两端之间；通过上述方案，在使用时通过引流管将液态氙气直接输送至储液腔底，从而避免液体飞溅进去第一出液孔，影响液体均分精度。
主权项：1.一种液态氙气均分设备，包括呈水平放置的底座1以及设置在所述底座1上的进液管道2，所述底座1上沿竖直方向开设有储液腔3，所述储液腔3侧壁贯穿开设有多个等高的第一出液孔4，所述第一出液孔4轴线与所述储液腔3轴线之间存在夹角，其特征在于：所述储液腔3内安装有内壳体6，所述内壳体6上开设有引流腔63，所述进液管道2一端伸入所述引流腔63内，所述内壳体6底部固定有引流管64，所述引流管64一端与所述引流腔63连通，另一端与所述储液腔3连通，所述引流管64侧壁和所述储液腔3侧壁之间存在导流间隙7，所述第一出液孔4开口处位于所述引流管64两端之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海润理真空技术有限公司 一种液态氙气均分设备
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