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申请/专利权人：无锡颂林达科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆表面干燥吹扫设备，包括底板，底板上固定安装有安装架，安装架内转动连接有连接轴，连接轴的外侧套设有旋转架，旋转架上位于连接轴的外侧设置有多个放置槽，多个放置槽内均插接有卡件，多个卡件靠近连接轴一侧均设置有限位槽，多个卡件内远离限位槽的一侧均设置有安装槽，每个安装槽内均滑动连接有两个滑片，两个滑片相互远离一侧均固定安装有卡销，多个放置槽内对应卡销处均预留有卡槽。该晶圆表面干燥吹扫设备能够合理利用晶圆清洗和清扫过程中的等待时间，用于拆装其他晶圆，缩短整体加工处理的时长，从而进一步提高了加工效率，同时晶圆的拆装方便快捷，适用于大批量晶圆加工处理的使用。
主权项：1.一种晶圆表面干燥吹扫设备，其特征在于，包括底板（1），所述底板（1）上固定安装有安装架（2），所述安装架（2）内转动连接有连接轴（20），所述连接轴（20）的外侧套设有旋转架（19），所述旋转架（19）上位于连接轴（20）的外侧设置有多个放置槽（10），多个所述放置槽（10）内均插接有卡件（11），多个所述卡件（11）靠近连接轴（20）一侧均设置有限位槽（12），多个所述卡件（11）内远离限位槽（12）的一侧均设置有安装槽（13），每个所述安装槽（13）内均滑动连接有两个滑片（14），两个所述滑片（14）相互远离一侧均固定安装有卡销（15），多个所述放置槽（10）内对应卡销（15）处均预留有卡槽（18），两个所述卡销（15）远离滑片（14）一侧分别延伸至对应的卡槽（18）内，且两个所述滑片（14）之间固定安装有弹簧（17）。
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权利要求：
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