龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：无锡奥特维捷芯科技有限公司
摘要：本申请提供一种保持环、研磨头机构及研磨装置，该保持环至少与抛光垫接触的表面的材质与作为研磨对象的晶片的材质相同。通过至少将保持环与抛光垫接触的表面使用与作为研磨对象的晶片相同材质制作，能够消除抛光垫表面与保持环表面接触的部分和抛光垫表面与晶片表面接触的部分之间的温度差异。此外，能够将保持环的厚度控制为相对于晶片厚度的最佳值，最终提供一种能够提高晶片整体平坦度且能够抑制边缘塌边的保持环。
主权项：1.一种用于晶片研磨装置的保持环，其特征在于，所述保持环至少与抛光垫接触的表面的材质与作为研磨对象的晶片的材质相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡奥特维捷芯科技有限公司 一种保持环、研磨头机构及研磨装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号