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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了紫外光源组件及紫外光固化设备，紫外光源组件包括第一灯管、第二灯管以及沿第一方向平行设置的两组基础反射镜；两组基础反射镜沿与第一方向平行的中轴线对称；第一灯管及第二灯管相平行且均沿第二方向延伸；第一方向与第二方向相互垂直；第一灯管及第二灯管均设置于远离基础反射镜的焦点一侧；基础反射镜向内凹陷形成对灯管半包围的凹腔。上述紫外光源组件设置平行的两组基础反射镜，同时设置两个灯管平行且远离基础反射镜的焦点一侧，从而弱化反射后所得紫外光束中心区域的光强，增加边缘区域的光强，使紫外光源光强分布更均衡。
主权项：1.一种紫外光源组件，其特征在于，包括：第一灯管、第二灯管以及沿第一方向平行设置的两组基础反射镜；两组基础反射镜沿与所述第一方向平行的中轴线对称；所述第一灯管及所述第二灯管相平行且均沿第二方向延伸；所述第一方向与所述第二方向相互垂直；所述第一灯管及所述第二灯管均设置于远离所述基础反射镜的焦点一侧；所述基础反射镜向内凹陷形成对灯管半包围的凹腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 紫外光源组件及紫外光固化设备
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