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申请/专利权人：闳康技术检测(上海)有限公司
摘要：本申请涉及一种拓展AFM分析景深灯源，涉及AFM相关设备的技术领域；其包括灯环，配合真空吸附沟槽的形状放置在真空吸附沟槽内；灯体，设于灯环靠近样品载台的内侧壁上；灯环放置在真空吸附沟槽内时，灯体位于样品载台的上方，用于照射放置在样品载座上的样品试片；控制器，与灯体电连接，用于控制灯体的启闭。本申请具有增加AFM的观察景深，以增加样品试片放置在样品载座上放置角度的效果。
主权项：1.一种拓展AFM分析景深灯源，其特征在于：包括：灯环（3），配合真空吸附沟槽（11）的形状放置在所述真空吸附沟槽（11）内；灯体（31），设于所述灯环（3）靠近样品载台（1）的内侧壁上；所述灯环（3）放置在所述真空吸附沟槽（11）内时，所述灯体（31）位于样品载台（1）的上方，用于照射放置在样品载座（2）上的样品试片；控制器（4），与所述灯体（31）电连接，用于控制所述灯体（31）的启闭。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 闳康技术检测(上海)有限公司 一种拓展AFM分析景深灯源
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