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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本发明提供一种用于KDP晶体表面微纳缺陷DPN水溶扫描修复的AFM探针作用轨迹生成方法，涉及微纳制造领域，为解决现有方法仅能假设AFM探针的作用是空间均匀场，未考虑AFM探针扫描工艺参数对结果的影响的问题。包括：步骤一、构建DPN液桥全范围计算模型，获取AFM探针在KDP晶体元件表面的作用域；步骤二、构建DPN水溶修复形貌演变模型，根据作用域尺寸构建开关函数；步骤三、根据AFM探针扫描工艺参数构建液桥对称中心时变函数；步骤四、将对称中心时变函数加载到开关函数对称中心上，对开关函数进行时变修正；步骤五、对DPN水溶修复形貌演变模型进行系数加权，生成AFM探针动态作用轨迹；步骤六、将作用轨迹加载到演变模型，模拟DPN水溶修复形貌演变过程。
主权项：1.一种用于KDP晶体表面微纳缺陷DPN水溶扫描修复的AFM探针作用轨迹生成方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、构建DPN液桥全范围计算模型，将DPN水溶修复工艺参数代入DPN液桥全范围计算模型，获得AFM探针在KDP晶体元件表面的作用域；步骤二、构建DPN水溶修复形貌演变模型，根据AFM探针在KDP晶体元件表面的作用域尺寸，构建DPN水溶修复形貌演变模型开关函数；步骤三、根据AFM探针扫描工艺参数构建DPN液桥对称中心时变函数；步骤四、将DPN液桥对称中心时变函数加载到开关函数对称中心上，对开关函数进行时变修正，得到修正的时变开关函数；步骤五、利用修正的时变开关函数对DPN水溶修复形貌演变模型进行系数加权，生成AFM探针动态作用轨迹；步骤六、将AFM探针动态作用轨迹加载到DPN水溶修复形貌演变模型，模拟AFM探针扫描作用下的DPN水溶修复形貌演变过程。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 一种用于KDP晶体表面微纳缺陷DPN水溶扫描修复的AFM探针作用轨迹生成方法
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