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申请/专利权人：湖北鼎龙汇鑫科技有限公司
摘要：本发明涉及氮化铝静电卡盘、具有不同功能陶瓷层的氮化铝静电卡盘及其制备方法。本发明的氮化铝静电卡盘，使用三层逐级液压、冷等静压和一体烧结的成型工艺，具有较好的平整度与平行度，进而提高静电卡盘的静电吸附力或控温性能的均匀性。本发明的具有不同功能陶瓷层的氮化铝静电卡盘，包括第一陶瓷层、静电电极、第二陶瓷层、加热电极和第三陶瓷层，所述静电电极位于第一陶瓷层与第二陶瓷层之间，加热电极位于第二陶瓷层和第三陶瓷层之间；所述第一陶瓷层、第二陶瓷层和第三陶瓷层的成分和含量均不相同，在一体烧结后实现每层陶瓷的化学成分、晶相组成、热学电学性质均不相同，进而实现各陶瓷层的不同侧重的功能。
主权项：1.一种高温时兼具高温体电阻率和高温导热率的氮化铝陶瓷层，其特征在于，包括氮化铝、烧结助剂和调阻剂成分，所述烧结助剂的用量为氮化铝质量的0.1-4％，调阻剂的用量为氮化铝质量的0.1-2％，其中氮化铝晶粒尺寸优选为500nm-900nm。
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百度查询： 湖北鼎龙汇鑫科技有限公司 一种氮化铝静电卡盘及其制备方法
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