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申请/专利权人：深圳博能真空电源技术有限公司

摘要：本申请涉及磁场分布检测技术领域，尤其涉及一种磁场检测扫描仪。其包括：支撑台、移动机构、固定组件和检测件，移动机构包括滑轨和驱动组件，驱动组件包括移动件、驱动件、从动件和传动件，移动件靠近支撑台的一端卡合在滑轨上；驱动件设置在滑轨的一端且位于两条滑轨之间；从动件相对驱动件设置在滑轨的另一端；传动件连接移动件且两端分别套设在驱动件和从动件上；固定组件包括第一固定件、第二固定件和连接杆，第一固定件设置在驱动件远离移动件的一端；第二固定件设置在移动件远离驱动件的一端；连接杆一端固定在第一固定件上，另一端贯穿移动件的贯穿孔固定在第二固定件上，连接杆上固定有磁控阴极；检测件设置在移动件上且位于连接杆上方。

主权项：1.一种磁场检测扫描仪，其特征在于，包括：支撑台（10）；移动机构（20），包括滑轨（21）和驱动组件（22），所述滑轨（21）为两条且平行设置在所述支撑台（10）上，所述驱动组件（22）包括移动件（221）、驱动件（222）、从动件（223）和传动件（224），所述移动件（221）靠近所述支撑台（10）的一端卡合在所述滑轨（21）上；所述驱动件（222）设置在所述滑轨（21）的一端，且位于两条所述滑轨（21）之间；所述从动件（223）相对所述驱动件（222）设置在所述滑轨（21）的另一端；所述传动件（224）连接所述移动件（221）且两端分别套设在所述驱动件（222）和所述从动件（223）上；其中所述驱动件（222）驱动所述传动件（224）带动所述移动件（221）在所述滑轨（21）上直线运动；固定组件（30），包括第一固定件（31）、第二固定件（32）和连接杆（33），所述第一固定件（31）设置在所述驱动件（222）远离所述移动件（221）的一端；所述第二固定件（32）设置在所述移动件（221）远离所述驱动件（222）的一端；所述连接杆（33）一端固定在所述第一固定件（31）上，另一端贯穿所述移动件（221）上的贯穿孔（2211）固定在所述第二固定件（32）上，所述连接杆（33）上固定有磁控阴极（331）；检测件（40），设置在所述移动件（221）上，位于所述连接杆（33）上方，其中所述检测件（40）经所述传动件（224）的带动随所述移动件（221）在所述滑轨（21）上移动而移动，进行依次检测所述连接杆（33）上固定的多个磁控阴极（331）。

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