龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：西安电子科技大学
摘要：本发明公开了一种基于电荷调控结构的电容式MEMS麦克风，主要解决传统电容式MEMS麦克风振膜和背板尺寸减小导致麦克风灵敏度下降的问题，其自下而上包括硅衬底、第一绝缘层、振膜层、第二绝缘层、背板，及振膜层与背板之间的声腔、背板上的声孔、硅衬底内部的空心圆柱形背腔。其中振膜层设为三层，该第二振膜层镶嵌于第一振膜层的内部，并与第一振膜层上表面平齐，该第三振膜层位于第一层和第二振膜层的共同上表面之上，以构成电容式MEMS麦克风的电荷调控一体结构。本发明通过在传统电容式MEMS麦克风振膜内部嵌入的一层压电薄膜，能调控麦克风振膜表面的电荷数量，最终提升电容式MEMS麦克风的灵敏度，可用于助听器、移动电子智能设备的收音。
主权项：1.基于电荷调控结构的电容式MEMS麦克风，其包括硅衬底1、第一绝缘层2、振膜层3、第二绝缘层4、声腔5、背板6、声孔7、硅衬底内部的空心圆柱形背腔8，其特征在于：所述振膜层3设为三层31，32，33，该第一振膜层31是半径为R1，厚度为D1的圆形膜；该第二振膜层32是半径为R2，厚度为D2的圆形压电薄膜，其镶嵌于所述第一振膜层31的内部上方，且与第一振膜层31的上表面平齐；该第三振膜层33是半径为R3，厚度为D3的圆形膜，其位于第一振膜层31和第二振膜层32的上方。其中，R1＝R3R2，D1≥D3D2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 基于电荷调控结构的电容式MEMS麦克风
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号