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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种狭缝喷嘴及基板处理装置，其在使刮刀相对于附着有处理液的狭缝喷嘴的前端部抵接的同时相对移动时，可抑制所述前端部的处理液痕的产生或量。本发明具有对狭缝喷嘴的前端部的表面实施了疏液处理的表面处理区域。所述表面处理区域与通过刮刀相对于狭缝喷嘴的相对移动而刮刀的上方端所描绘的抵接轨迹重叠。更具体而言，表面处理区域的下方端与抵接轨迹一致，或位于比抵接轨迹更靠下方处，并且上方端位于比抵接轨迹更靠上方处。因此，通过疏液作用，处理液不会沿着抵接轨迹残存，或者即便残存，处理液的余量也比以往大幅减少。
主权项：1.一种狭缝喷嘴，具有延伸设置有用于将处理液朝向下方喷出的狭缝状的喷出口的前端部，在从所述喷出口喷出所述处理液之后利用在与所述前端部抵接的同时沿所述喷出口的延伸设置方向相对移动的刮刀，从所述前端部刮取所述处理液，所述狭缝喷嘴的特征在于，所述前端部具有实施了疏液处理的表面处理区域，所述表面处理区域的下方端，与通过所述刮刀相对于所述狭缝喷嘴的相对移动而所述刮刀的上方端所描绘的抵接轨迹一致，或位于比所述抵接轨迹更靠下方处，并且所述表面处理区域的上方端位于比所述抵接轨迹更靠上方处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 狭缝喷嘴及基板处理装置
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