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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
摘要：一种粒子束显微镜1包括粒子束源3、物镜7、第一闪烁体51、第二闪烁体53以及光检测器55、57。由第一闪烁体51产生的光的第一束路径和由第二闪烁体53产生的光的第二束路径彼此重叠。第一闪烁体51的闪烁体本体产生具有第一光谱分布的光83，并且第二闪烁体53产生具有与该第一光谱分布不同的第二光谱分布的光。
主权项：1.一种粒子束显微镜，包括：用于产生粒子束5的粒子束源3；用于将粒子束5聚焦在物平面9中的物镜7；第一闪烁体51，53，该第一闪烁体被配置为由来自该物平面9的电子来产生光；第二闪烁体51，53，该第二闪烁体被配置为由来自该物平面9的电子来产生光；以及至少一个光检测器55，57；101，该至少一个光检测器被配置为检测由该第一闪烁体51，53产生的光和由该第二闪烁体51，53产生的光；其中，由该第一闪烁体51，53产生的光在该第一闪烁体51，53与该至少一个光检测器55，57；101之间的第一束路径、以及由该第二闪烁体51，53产生的光在该第二闪烁体51，53与该至少一个光检测器55，57；101之间的第二束路径部分地彼此重叠；其中，该第一闪烁体51，53包括由第一闪烁体材料制造的闪烁体本体203，该闪烁体本体由电子213产生具有第一光谱分布的光215；并且其中，该第二闪烁体51，53包括由第二闪烁体材料制造的闪烁体本体205，该闪烁体本体由电子217产生具有第二光谱分布的光219，所述第二光谱分布不同于该第一光谱分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 粒子束显微镜
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