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申请/专利权人：明远精密科技股份有限公司
摘要：本发明涉及一种中空阴极放电辅助之变压器耦合电浆源及其运作方法，其为结合中空阴极放电机制及变压器耦合电浆机制。此变压器耦合电浆源包含具有一环形通道之反应腔以及铁氧体变压器，其中中空阴极放电机制先在反应腔中分区域使得工作气体高效率产生电浆，借以使得变压器耦合电浆机制得以容易形成环形电浆结构，借此可在高气压及高气体流量下产生高功率及高密度电浆。
主权项：1.一种中空阴极放电辅助之变压器耦合电浆源，其特征在于，至少包含：一反应腔，具有一环形通道；以及至少一铁氧体变压器，包含缠绕有一第一线圈之一第一铁氧体磁芯、缠绕有一第二线圈之一第二铁氧体磁芯及一驱动功率源，其中该反应腔之该环形通道穿过该第一铁氧体磁芯与该第二铁氧体磁芯之间之一中空区域，其中，该驱动功率源施加具有一第一电压之一交流电源于该第一线圈以产生一交变磁场于该第一铁氧体磁芯上，其中，该第二线圈借由感应该交变磁场而产生一第二电压，该第二电压被施加于该反应腔之至少一中空圆柱管上，用以经由一中空阴极放电机制将该环形通道中之一工作气体激发成一电浆，其中，该反应腔之该环形通道经由一变压器耦合电浆机制感应该交变磁场而产生一感应电场，用以激发该电浆而在该反应腔之该环形通道中形成具有一闭合路径之一电流，借由进一步游离该工作气体以提升该电浆之密度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 明远精密科技股份有限公司 中空阴极放电辅助之变压器耦合电浆源及其运作方法
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