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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供了控制系统、计算机能够读取的记录介质及控制系统的方法，其能够高效地进行动作调整作业且安全地调整单元。控制系统20具备：控制装置10；以及多个终端装置，能够与控制装置10连接。控制装置10具备：存储装置110，储存了处理程序；以及处理装置120，根据处理程序而执行运算。处理程序包括以下的指令：以没有将访问对象单元的排他性操作权赋予多个终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给控制装置10的、调整对象单元对访问对象单元的访问操作权的请求，将访问操作权赋予对象终端装置。
主权项：1.一种控制系统，对构成半导体制造装置的多个单元进行控制，所述控制系统具备：控制装置；以及多个终端装置，能连接于所述控制装置，所述控制装置具有以下的联锁功能：不允许多个所述终端装置中的任两个终端装置同时操作所述多个单元中的任一个单元，所述多个单元包括：访问对象单元；以及调整对象单元，能访问所述访问对象单元，所述控制装置具备：存储装置，储存了处理程序；以及处理装置，根据所述处理程序执行运算，所述处理程序包括以下的指令：以没有将所述访问对象单元的排他性操作权赋予多个所述终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个所述终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给所述控制装置的、所述调整对象单元对所述访问对象单元的访问操作权的请求，将所述访问操作权赋予所述对象终端装置，所述访问操作权是所述控制装置对所述调整对象单元允许向所述访问对象单元的访问的权利，所述排他性操作权是用于所述多个终端装置的任意一个终端装置对所述调整对象单元和所述访问对象单元中的任意一个单元进行排他性地操作的权利，当所述对象终端装置取得所述调整对象单元的所述访问操作权时，不允许所述对象终端装置以外的终端装置取得成为所述访问操作权的对象的所述访问对象单元的所述排他性操作权。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 控制系统、计算机能够读取的记录介质及控制系统的方法
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