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申请/专利权人：合肥清电长信光伏科技有限公司

摘要：本发明涉及应用于晶体硅太阳能电池领域的一种恒定流量梯度钝化的轻掺扩散工艺，通过恒定整体工艺气体流量，使在工艺步骤变动时，减小气体流量的波动，从而改变表面的均匀性，减少表面磷原子分布不均匀现象，同步减少表面杂质的堆积，形成轻掺，提升钝化效果，进而带来效率的提升；另外配合调控模块的设置，可实时对当前通入气体的流速进行监控，同时可对下一种通入气体或下一步骤中通入气体单位时间的流量进行测算，根据测算结果进行气体流量的补偿，使两个工艺步骤中或者同一步骤中两种气体通入时的流量变化成梯度变化，有效避免骤然波动，进而有效维持气体的稳定性，进一步减少表面磷原子分布不均匀现象。

主权项：1.一种恒定流量梯度钝化的轻掺扩散工艺，其特征在于：包括以下步骤：S1、将已经制绒后的硅片送入扩散炉管，炉管加热至750±100℃，持续8min；S2、各温区温度保持在760±100℃，抽低压至50-150mbar，持续时间2-6min；S3、各温区温度保持在760±100℃，抽低压至50-150mbar，停止抽真空，持续时间1min，进行炉管检漏；S4、各温区温度保持在760±100℃，压力保持在100±10mbar，通入定量的氧气、小氮和大氮，持续时间2-6min，进行前氧化；S5、进行预沉积操作：S51、各温区温度保持在765±20℃，压力保持在100±10mbar，通氧、三氯氧磷以及大氮，进行第一次低温沉积，时间1-3min；S52、各温区温度保持在765±20℃，压力保持在100±10mbar，通氧、三氯氧磷以及大氮，进行第二次低温沉积，时间1-3min；S53、各温区温度保持在775±20℃，压力保持在100±10mbar；通三氯氧磷、氧气以及大氮进行第三次中温沉积，时间2min；S54、各温区温度保持在785±20℃，压力保持在100±10mbar；通三氯氧磷、氧气、大氮、进行第四次高温沉积，时间2min；S6、预沉积通源后，各温区温度保持在860±20℃，进行高温11min推进后，再进行2.5min恒定高温推进；S7、高温推进后，各温区温度保持在800±20℃，进行（17+6+3）min降温；S8、进行后沉积操作：S81、温度保持在790±10℃进行（2.5+8）min后源沉积，源量做100sccm下降梯度；通入气体为氧气、大氮以及小氮；S82、后沉积后进行2min后氧化，通入氧气、小氮和大氮；S9、随后，充氮气3000sccm至常压，持续3min；S10、充气至常压后出舟，持续时间8min；在所述S4的前氧化步骤、S5的预沉积四个步骤以及S8的后沉积两个步骤中气体总流量均保持一致；在炉管（1）上设置调控模块，通过调控模块对各个步骤中不同气体切换通入时的流量波动进行调控，同时通过调控模块对切换步骤时的气体流量波动进行调控；所述调控模块包括安装在炉管（1）外端的气泵、控制器、集成在控制器内的计算模块、安装在炉管（1）进气端的稳压管（2）以及位于稳压管（2）内的气体流速传感器（7），所述稳压管（2）远离炉管（1）的一端固定连接有多个充气管（31），所述稳压管（2）上端固定连接有补偿气管（32），所述充气管（31）和补偿气管（32）均与稳压管（2）相通，且二者上均安装有单向阀，所述稳压管（2）内部设置有气体调控组件，所述气体调控组件包括泄压半球（41）、固定连接在稳压管（2）内部的隔板（42）以及连接在泄压半球（41）和隔板（42）之间的多个弹性伸缩杆（43），所述隔板（42）与稳压管（2）靠近炉管（1）的一端固定连接有导气管（5），所述导气管（5）与炉管（1）相通，所述气体流速传感器（7）安装在导气管（5）上。

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