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申请/专利权人：中企科信技术股份有限公司
摘要：本发明属于光学器件应用技术领域，涉及偏振光分束器，尤其涉及一种GaAs基偏振光分束器及其制备方法。包括GaAs光栅衬底，所述GaAs光栅衬底的上方设置有上层光栅，所述上层光栅包括以Al2O3为材质的Al2O3光栅块和以AlGaAs为材质的AlGaAs光栅块，其中，所述Al2O3光栅块和AlGaAs光栅块交替设置，所述上层光栅的厚度小于GaAs光栅衬底的厚度设置。本发明通过Al2O3和AlGaAs为材质的光栅条结构、GaAs衬底，能够将800‑880nm80nm宽光谱范围的入射光束分成TE、TM两束正交偏振光，并且对TE模式偏振光的反射率大于95％，最大可达到99.99％，对TM模式偏振光的透射率大于96％，最大可达99.94％，且偏振消光比大于10dB，在830‑860nm光谱范围偏振消光比可以达到20dB以上，最高可达41.37dB。
主权项：1.一种GaAs基偏振光分束器，包括GaAs光栅衬底，其特征在于，所述GaAs光栅衬底的上方设置有上层光栅，所述上层光栅包括以Al2O3为材质的Al2O3光栅块和以AlGaAs为材质的AlGaAs光栅块，其中，所述Al2O3光栅块和AlGaAs光栅块在水平方向上交替设置，所述上层光栅的厚度小于GaAs光栅衬底的厚度设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中企科信技术股份有限公司 一种GaAs基偏振光分束器及其制备方法
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